一、“十一五”產(chǎn)業(yè)發(fā)展回顧
（一）產(chǎn)業(yè)規(guī)模持續(xù)穩(wěn)定增長
我國電子專用設(shè)備儀器產(chǎn)業(yè)在“十一五”期間保持了較高的增速，雖然期間受全球金融危機影響，2008年下半年至2009年上半年呈現(xiàn)出下滑態(tài)勢，但在國內(nèi)多項政策激勵下，隨著世界經(jīng)濟逐步回暖，電子專用設(shè)備儀器業(yè)企穩(wěn)回升，實現(xiàn)了生產(chǎn)、銷售和經(jīng)濟效益總體平穩(wěn)增長的態(tài)勢。
據(jù)統(tǒng)計，“十一五”期間我國電子專用設(shè)備銷售收入年均增長率為20%，從2005年的783億元增長到超過1987億元，電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會統(tǒng)計的行業(yè)骨干企業(yè)年均增長率為25%，從52.7億元增長到160.6億元。統(tǒng)計數(shù)據(jù)表明，“十一五”期間我國電子儀器規(guī)模以上企業(yè)年均增長19%，到“十一五”末實現(xiàn)銷售收入940億元。五年間，電子專用設(shè)備儀器產(chǎn)品中太陽能光伏設(shè)備以及元器件參數(shù)測量儀器、超低頻測量儀器等保持了較大幅度的增長。
（二）重點產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域取得較大成績
“十一五”期間，國家科技重大專項圍繞光刻機、刻蝕機、65納米制造工藝、先進封裝設(shè)備等重點任務(wù)，集中資源重點投入，取得很大進展。北方微電子及上海中微公司2種12英寸65納米刻蝕機產(chǎn)品樣機已進入大生產(chǎn)線進行考核驗證；上海微電子公司封裝光刻機已進入長電科技考核測試；七星華創(chuàng)12英寸氧化爐已進入大線測試；中科信12英寸離子注入機已完成3臺樣機組裝，正在進行測試。多種12英寸關(guān)鍵設(shè)備陸續(xù)進入大生產(chǎn)線考核驗證，標(biāo)志著我國集成電路設(shè)備產(chǎn)業(yè)已初步形成產(chǎn)業(yè)化發(fā)展態(tài)勢。
“十一五”期間新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，為電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)帶來了良好的發(fā)展契機。尤其是我國晶硅太陽能電池設(shè)備年均增長率達到58%，基本具備了從晶體硅到太陽能電池片的成套生產(chǎn)線設(shè)備供應(yīng)能力，為我國光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了有力保障。晶硅太陽能設(shè)備爆發(fā)式增長，為電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)“十一五”規(guī)劃目標(biāo)提供了有力支撐。
（三）電子儀器產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整初見成效
電子儀器產(chǎn)業(yè)根據(jù)市場應(yīng)用需求的變化，不斷調(diào)整結(jié)構(gòu)，產(chǎn)品種類日益豐富。針對多功能、多參數(shù)的復(fù)合測試需求，測試設(shè)備從單臺儀器向大型測試系統(tǒng)形式邁進；電子測量儀器向模塊化和合成儀器方向發(fā)展；野外工程應(yīng)用需求不斷促進測試儀器向便攜式和手持式升級；新型的實時頻譜分析儀開始推向市場；3G、數(shù)字電視等民用領(lǐng)域?qū)I(yè)測試儀器新品不斷涌現(xiàn)。
（四）產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新能力不斷提升
“十一五”以來，電子專用設(shè)備儀器行業(yè)內(nèi)主要企業(yè)通過引進國內(nèi)外的高科技人才，加強與高校、科研單位的合作，在關(guān)鍵設(shè)備和開發(fā)中規(guī)避已有的國外專利，開發(fā)出一批技術(shù)含量高、性能穩(wěn)定、具有自主知識產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品，初步建立起了以企業(yè)為主體的技術(shù)創(chuàng)新體系。
在國家“863”計劃、國家科技重大專項的支持下，一批具有自主知識產(chǎn)權(quán)的集成電路設(shè)備進入了大生產(chǎn)線。我國的無鉛焊接設(shè)備達到了國際先進水平，成為我國表面貼裝設(shè)備市場中最具競爭力的產(chǎn)品。電子儀器行業(yè)的本土企業(yè)逐步進入自主研發(fā)階段，初步掌握核心和高端儀器技術(shù)，能夠為國家重大工程提供大部分配套電子儀器。在部分特種電子儀器產(chǎn)品方面打破了國外禁運和技術(shù)封鎖，為重點裝備的技術(shù)保障和研制建設(shè)提供了有力支撐。
（五）產(chǎn)業(yè)鏈整合進程日益加速
在國家科技重大專項引導(dǎo)下，以龍頭企業(yè)為核心的產(chǎn)業(yè)鏈整合進程持續(xù)加速。北方微電子、上海中微、七星華創(chuàng)等整機企業(yè)與北京科儀、沈陽科儀、沈陽新松等零部件企業(yè)圍繞刻蝕機、注入機、氧化爐等高端芯片制造裝備與關(guān)鍵部件進行聯(lián)合攻關(guān)；江蘇長電、南通富士通等國內(nèi)封裝龍頭企業(yè)聯(lián)合26家企業(yè)開展成套封裝設(shè)備與配套材料的系統(tǒng)應(yīng)用工程。按照上下游配套的“項目群”方式，系統(tǒng)部署實施重大專項，有力促進集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的建立、產(chǎn)業(yè)規(guī)模的增長和綜合配套能力的形成。
（六）產(chǎn)業(yè)扶持政策逐步完善
《國務(wù)院關(guān)于加快振興裝備制造業(yè)的若干意見》將集成電路關(guān)鍵設(shè)備、新型平板顯示器件生產(chǎn)設(shè)備、電子元器件生產(chǎn)設(shè)備、無鉛工藝的整機裝聯(lián)設(shè)備列入了國家重大技術(shù)裝備中，加大政策支持和引導(dǎo)力度，鼓勵本土重大技術(shù)裝備訂購和使用，為產(chǎn)業(yè)發(fā)展創(chuàng)造了有利的市場環(huán)境。“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項的實施，有力帶動了我國電子專用設(shè)備儀器技術(shù)提升。
“十一五”期間我國電子專用設(shè)備儀器行業(yè)取得較大成績，但仍存在突出問題：產(chǎn)業(yè)規(guī)模偏小，本土企業(yè)實力不強；自主創(chuàng)新能力有待提高，高端設(shè)備開發(fā)相對落后；部分產(chǎn)品性價比雖高，但可靠性較差，市場占有率低；設(shè)備開發(fā)與產(chǎn)品制造工藝脫離，影響了技術(shù)成果產(chǎn)業(yè)化的進程；高水平、復(fù)合型人才缺乏。
二、“十二五”面臨的形勢
“十二五”期間，隨著政策環(huán)境的不斷完善、戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，國際國內(nèi)市場迅速增長、新興增長點不斷涌現(xiàn)、應(yīng)用領(lǐng)域進一步拓寬，為我國電子專用設(shè)備儀器產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供了廣闊的空間和堅實的政策支持。但全球經(jīng)濟形勢存在不確定性、國產(chǎn)設(shè)備儀器的推廣應(yīng)用難度加大，也使產(chǎn)業(yè)發(fā)展面臨較大挑戰(zhàn)。
（一）產(chǎn)業(yè)發(fā)展形勢分析
2010年全球半導(dǎo)體制造設(shè)備銷售總額達到395.4億美元，恢復(fù)到歷史最高水平。各個地區(qū)的設(shè)備支出都呈現(xiàn)了兩位數(shù)甚至三位數(shù)百分比的增長，增長最快的是中國大陸和韓國。2010年中國內(nèi)地半導(dǎo)體設(shè)備市場為22.4億美元，預(yù)計2011年為26.4億美元。按此增長率推算，到2015年，我國半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模將達到300億元人民幣。
2010年，全球光伏生產(chǎn)設(shè)備銷售額比上年增長40%，達到104億美元，預(yù)計2011年將達到124億美元，同比增長24%。從區(qū)域市場來看，2010年中國大陸地區(qū)占全球市場51%的份額，預(yù)計未來5年還將繼續(xù)保持這一較高比例。據(jù)此，可以判斷到2015年我國光伏設(shè)備將繼續(xù)保有巨大市場空間。
新能源汽車用鋰離子動力電池、高性能驅(qū)動永磁式同步電機、金屬化超薄膜電力電容器等新型電子元器件生產(chǎn)設(shè)備將成為我國電子專用設(shè)備市場新的增長點。
多學(xué)科交匯為電子儀器開辟了新的發(fā)展空間，物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)發(fā)展和三網(wǎng)融合對電子儀器提出新的測試需求，預(yù)計上述領(lǐng)域的電子儀器以及環(huán)境保護測試儀器和醫(yī)療電子儀器會面臨大發(fā)展。
（二）技術(shù)發(fā)展趨勢分析
集成電路技術(shù)發(fā)展將繼續(xù)遵循“摩爾定律”，制造工藝水平的提升對相應(yīng)制造設(shè)備提出了新的挑戰(zhàn)。不僅是特征尺寸的縮小和套刻精度的提高等技術(shù)指標(biāo)的改進，而且需要更高的生產(chǎn)效率和更低的用戶擁有成本等經(jīng)濟指標(biāo)的提升。不僅僅局限于集成電路的制造設(shè)備，太陽能電池制造設(shè)備、平板顯示設(shè)備、整機裝聯(lián)設(shè)備等設(shè)備功能和性能的提升也將符合這一發(fā)展趨勢。
電子儀器向?qū)掝l帶、大實時帶寬、大功率、高精度、高密度、高速方向發(fā)展；將廣泛采用新型元器件，與信息技術(shù)和計算機技術(shù)融為一體，向智能化、系統(tǒng)化、模塊化、網(wǎng)絡(luò)化、開放式、可重構(gòu)、微型化、抗惡劣環(huán)境、測量功能集成集約化方向邁進。
（三）面臨的環(huán)境條件
“十二五”期間，隨著我國繼續(xù)加快發(fā)展戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)，加大對“極大規(guī)模集成電路裝備制造技術(shù)及成套工藝”、“新一代寬帶無線移動通信網(wǎng)”等重大科技專項的支持，新能源、新材料等新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展以及量大面廣的電子元器件的需求，將為電子專用設(shè)備儀器企業(yè)的進一步發(fā)展創(chuàng)造良好的發(fā)展機遇。
同時，產(chǎn)業(yè)也面臨著制造企業(yè)對于采購本地設(shè)備儀器的積極性不高，在采購本土設(shè)備時需要面對工藝與設(shè)備的融合，新工藝開發(fā)缺乏技術(shù)支持等一系列問題。
為本地開發(fā)的專用設(shè)備儀器提供良好的市場銷售環(huán)境和政策支持，進一步降低國產(chǎn)設(shè)備儀器的使用成本，提升本土產(chǎn)品的配套率，提升本土產(chǎn)品的競爭優(yōu)勢，提振用戶對國產(chǎn)設(shè)備儀器信心，是“十二五”期間需重點關(guān)注和解決的問題。