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電化學刻蝕方法制備半導體材料納米陣列  
電化學刻蝕方法制備半導體材料納米陣列
資料類型： PDF文件
關鍵詞： 電化學刻蝕  多孔InP  多孔硅  SEM  
資料大小： 234K
所屬學科： 分子表征
來源： 2004年第五屆中國功能材料及其應用學術會議（9.12-9.16，北京.秦皇島）
簡介：
電化學刻蝕方法是一種非常簡單實用的制備規則納米陣列結構的方法。本文簡述了用電化學刻蝕方法制備InP以及Si規則納米陣列的方法。SEM圖像給出了這些規則納米陣列的結構。
作者： 李國慶 劉愛民 潘萌 杜曉書 郭凡
上傳時間： 2007-07-13 14:36:08
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