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氮氣流量對電弧離子鍍TiN薄膜性能的影響  
氮氣流量對電弧離子鍍TiN薄膜性能的影響
資料類型： PDF文件
關鍵詞： 離子鍍  氮化鈦  氮氣流量  薄膜  
資料大小： 308K
所屬學科： 分子表征
來源： 2004年第五屆中國功能材料及其應用學術會議（9.12-9.16，北京.秦皇島）
簡介：
氮化鈦是一種應用較廣泛的硬質薄膜，其性能受許多因素的影響，本文只改變氮氣流量，固定其它工藝參數，對鍍覆的氮化鈦薄膜性能進行了分析和研究，得出了獲得較好氮化鈦薄膜綜合性能的氮氣流量
作者： 李春明 史新偉 邱萬奇 劉正義
上傳時間： 2007-07-06 16:38:23
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