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光刻膠在光刻工藝中功能界面的形成機制與調控（NSFC面上項目）
項目類別：國家自然科學基金面上項目
項目編號：22573037
參與人員：劉鴻（項目負責人）
起止日期：2026.1-2029.12
光刻膠在光刻工藝中功能界面的形成機制與調控，直接經費50萬元。
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