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The Interfacial Engineering for the Fabrication of EpoxyMicrofluidic-photonic-integrated Devices on Glass Substrates  
The Interfacial Engineering for the Fabrication of EpoxyMicrofluidic-photonic-integrated Devices on Glass Substrates
資料類型： PDF文件
關(guān)鍵詞： EpoxyMicrofluidic-photonic-integrated  Devices  
資料大小： 319K
所屬學科： 分子表征
來源： 2009第四屆中歐增強高聚物工藝與性能國際學術(shù)會議（6.8-6.12，桂林）
簡介：
FabricatingepoxySU-8-basedmicrofluidicandphotonicdevicesonglasssubstrates,suchaspyrexwafers,hasproventobeverydifficult.Thereasonisthatitishardtocompletelyremoveresidualmaterialbetweenpatternedstructureswhileobtainingsufficientbondingofthestructurestothepyrexsurface..
作者： THOMAS KOWPAK, BENJAMIN R. WATTS, SHIPING ZHU, CHANG-QING XUAND ZHIYI ZHANG
上傳時間： 2009-08-03 9:58:27
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