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| 資料類型： |
PDF文件
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| 關鍵詞： |
溶膠-凝膠 紫外光直寫 雜化 光波導 分束器 |
| 資料大小： |
382K |
| 所屬學科： |
分子表征 |
| 來源： |
2007年第六屆中國功能材料及其應用學術會議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢) |
| 簡介： |
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利用有機/無機雜化方法制備了光敏性溶膠-凝膠(sol-gel)SiO2材料，在預生長了18μm厚的SiO2上包層的硅基片上旋涂成膜。經前烘、紫外曝光、后烘的薄膜在5μm5μm的掃描范圍內的表面粗糙度只有0.266nm，表面起伏度只有0.336nm。利用紫外光直寫技術，制作出條形波導器件。SEM照片表明波導端面形狀較好，側壁陡直。對14多模干涉型分束器進行初步的通光測試，觀察到分光效果較好的近場輸出圖像。 |
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| 作者： |
王 玥，吳遠大，李建光，安俊明，王紅杰，張家順，尹小杰，胡雄偉
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| 上傳時間： |
2008-09-09 16:44:31 |
| 下載次數： |
28 |
| 消耗積分： |
2
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