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冷等離子體中的粉體研究  
冷等離子體中的粉體研究
資料類型： PDF文件
關(guān)鍵詞： 冷等離子體  粉體表面刻蝕  硅粉純化  
資料大小： 265K
所屬學(xué)科： 分子表征
來源： 2007年第六屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢)
簡介：
介紹了在冷等離子體中粉體研究的幾個(gè)重要成果，分析了粉體在兩種反應(yīng)室結(jié)構(gòu)中的運(yùn)動(dòng)、沉降時(shí)間及刻蝕狀況。理論分析和實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明帶振動(dòng)陰極的反應(yīng)室在粉體表面刻蝕方面比傳統(tǒng)陰極結(jié)構(gòu)的反應(yīng)室要優(yōu)越得多。研究表明冷等離子體對(duì)硅粉純化具有應(yīng)用前景。
作者： 王敬義，尹盛，趙亮，趙伯芳
上傳時(shí)間： 2008-05-19 15:45:59
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