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基于聚對(duì)羥基苯乙烯的單組份深紫外光致抗蝕劑研究  
基于聚對(duì)羥基苯乙烯的單組份深紫外光致抗蝕劑研究
資料類型： PDF文件
關(guān)鍵詞： 單組分抗蝕劑  聚對(duì)羥基苯乙烯  硫鎓鹽  叔丁氧羰基  
資料大小： 174K
所屬學(xué)科： 分子表征
來(lái)源： 2011年全國(guó)高分子學(xué)術(shù)論文報(bào)告會(huì)（2011.9.24~28，大連）
簡(jiǎn)介：
傳統(tǒng)的化學(xué)增幅型光致抗蝕劑需加入小分子產(chǎn)酸劑，從而影響了其與成膜樹脂的兼容性，在后烘過程中易出現(xiàn)相分離、酸分布不一致等問題，影響分辨率和線邊緣粗糙度。若將產(chǎn)酸劑、阻溶促溶劑和成膜樹脂合成在一個(gè)聚合物分子上，組成單組分抗蝕劑，即可極大的改善上述問題。
作者： 劉娟，王力元
上傳時(shí)間： 2012-02-27 13:57:38
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