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PVD法制備多晶碘化汞膜的光電特性研究 |
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| 資料類型: |
PDF文件
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| 關(guān)鍵詞: |
多晶 碘化汞 物理氣相沉積 探測(cè)器 |
| 資料大?。?/td>
| 389K |
| 所屬學(xué)科: |
性能表征 |
| 來(lái)源: |
來(lái)源網(wǎng)絡(luò) |
| 簡(jiǎn)介: |
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用熱壁物理氣相沉積法(Hot-WallPVD)制備出晶體質(zhì)量較好的多晶HgI2膜,研究了生長(zhǎng)參數(shù)對(duì)沉積膜質(zhì)量的影響,對(duì)多晶HgI2膜用金相顯微鏡、XRD、紅外光譜進(jìn)行了表征觀察及對(duì)用多晶HgI2膜制備的探測(cè)器采用了暗電流測(cè)試;結(jié)果表明PVD法制備的多晶HgI2膜純度高,結(jié)構(gòu)完整性好,均勻性好,并且其相應(yīng)器件有低的暗電流(電場(chǎng)0.2V/μm時(shí),為25pA/mm2)。 |
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| 上傳人: |
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| 上傳時(shí)間: |
2007-07-17 15:20:49 |
| 下載次數(shù): |
574 |
| 消耗積分: |
2
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