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電化學沉積CNx薄膜的摩擦性能研究

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關鍵詞：

CNx薄膜電化學沉積摩擦學性能

資料大小：

202K

所屬學科：

性能表征

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簡介：

以單晶硅片（100）為襯底，尿素－甲醇有機溶液為沉積液，用電化學沉積的方法在陰極制備出CNx薄膜。通過AFM、XPS、Raman光譜和FTIR光譜對得到的CNx薄膜的表面形貌和微觀結構進行了表征，并在球－盤摩擦試驗機上考察了薄膜的干摩擦性能，用SEM和EDS對摩擦表面進行了分析，研究了摩擦機理。結果表明：薄膜表面致密，但粗糙度較大；Raman光譜中出現(xiàn)明顯的D峰和G峰，說明薄膜具有無定形的結構特征；薄膜的化學元素組成主要為C，還有少量的N，C、N原子之間主要以共價單鍵和雙鍵形式結合。CNx薄膜與紅寶石球對摩時，摩擦系數(shù)隨頻率的增大而升高，但幾乎不隨載荷而變化；CNx薄膜在形成轉移膜的過程中不僅失去了N，而且發(fā)生了石墨化，這與DLC膜的摩擦過程非常相似。

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2007-07-13 14:47:48

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