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超聲熱解法制備SnO2∶F薄膜加熱管及其性能研究

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薄膜技術 SnO2:F薄膜光電特性超聲噴涂熱解法

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性能表征

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簡介：

采用超聲噴涂熱解淀積方法將SnO2∶F透明導電薄膜制備于耐高溫的硼硅玻璃管內壁。XRD物相分析及SEM、STM形貌分析表明，SnO2∶F薄膜為多晶結構，平均粒徑50nm。分析了薄膜中F取代SnO2中O的形成過程和薄膜電導率增強的機理，解釋了不同的工藝條件對薄膜的結構、光電特性的影響，確定了制備SnO2∶F薄膜加熱管的最佳工藝條件。該條件下制備的薄膜的電阻率達410-4Ωcm，可見光透過率高于90%，功率密度平均可達35W/cm2。

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2007-07-13 14:27:41

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