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R.F. 磁控濺射生成的氧化鎢薄膜的性能  
R.F. 磁控濺射生成的氧化鎢薄膜的性能
資料類型: PDF文件
關鍵詞: 氧化鎢薄膜  電致變色  r.f.磁控濺射  
資料大小: 119K
所屬學科: 性能表征
來源: 來源網絡
簡介:
由于薄膜沉積過程中缺乏氧氣,濺射得到的是化學配比偏離WO3的氧化鎢薄膜,本文詳細研究了不同電壓下,R.F磁控濺射生成的不同化學配比的氧化鎢薄膜的伏安循環特性;發現它們在一定電壓范圍內(1.15V到2.8V)都可產生著色現象。著色后對光的吸收是一致的。光的透過率顯示電壓超過某一值后,膜的變色能力減弱并消失。XRD顯示本文所得氧化鎢薄膜主要是非晶態的結構。
上傳人:
上傳時間: 2007-07-12 15:24:49
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