2009-7-29 來(lái)源:中國(guó)聚合物網(wǎng)
關(guān)鍵詞：巴斯夫 無(wú)機(jī)化學(xué)品 半導(dǎo)體
進(jìn)一步合作將著重簡(jiǎn)化 22 納米芯片生產(chǎn)步驟的選擇性清洗解決方案
先前聯(lián)合研究項(xiàng)目中生產(chǎn)的首批產(chǎn)品即將面市
(上海，2009 年7 月28 日) 巴斯夫與歐洲領(lǐng)先的獨(dú)立納米技術(shù)研究機(jī)構(gòu)比利時(shí)弗拉芒校際微電子研究中心(IMEC)今天宣布繼續(xù)拓展聯(lián)合研發(fā)項(xiàng)目。作為進(jìn)一步合作的領(lǐng)域之一，雙方計(jì)劃研發(fā)工藝化學(xué)品，這將提高半導(dǎo)體生產(chǎn)中的清洗化學(xué)品的性能。研究工作的另一個(gè)重點(diǎn)是降低生產(chǎn)工藝復(fù)雜性及減少生產(chǎn)步驟。
聯(lián)合研發(fā)下一階段將專注于選擇性清洗技術(shù)，這一技術(shù)將推動(dòng)以 22 納米技術(shù)為基礎(chǔ)的新一代芯片的開(kāi)發(fā)。這些解決方案將用于集成電路生產(chǎn)的第一個(gè)部分，即“前段制程”(FEOL)，此時(shí)個(gè)別組件（如晶體管）將被固定在半導(dǎo)體上。重要的是清洗解決方案不會(huì)對(duì)所使用的金屬造成影響，特別是對(duì)含有大量不同金屬組件的新晶體管。首批用于“前段制程”的產(chǎn)品將于 2011 年面市。
“巴斯夫已經(jīng)證明他們能夠在合適的時(shí)機(jī)提供合適的化學(xué)品解決方案——特別是在行業(yè)需要克服制造新一代芯片所帶來(lái)的挑戰(zhàn)的時(shí)候，”IMEC 副總裁、生產(chǎn)工藝技術(shù)部門負(fù)責(zé)人Rudi Cartuyvels 表示：“鑒于雙方到目前為止所取得的進(jìn)步，繼續(xù)這一成功的聯(lián)合研發(fā)項(xiàng)目是順理成章的。”
早在 2007 年，巴斯夫就參加了IMEC 的聯(lián)合項(xiàng)目，開(kāi)發(fā)用于半導(dǎo)體行業(yè)的創(chuàng)新清洗解決方案。巴斯夫電子材料研發(fā)項(xiàng)目經(jīng)理Andreas Klipp 博士表示：“IMEC 是這一領(lǐng)域中領(lǐng)先的研究機(jī)構(gòu)，與主要的設(shè)備供貨商和半導(dǎo)體制造商都有合作。將IMEC 在先進(jìn)設(shè)備測(cè)試結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及使用最新一代工具方面的優(yōu)勢(shì)與巴斯夫在化學(xué)品及應(yīng)用方面全面的專業(yè)技術(shù)相結(jié)合，使我們能夠?yàn)榭蛻籼峁┌雽?dǎo)體制造工藝方面的智能解決方案。”
聯(lián)合項(xiàng)目第一階段研發(fā)的 SPS-AW 產(chǎn)品系列清洗解決方案已啟動(dòng)同部分指定客戶的認(rèn)證階段。2010 年起，可顯著降低生產(chǎn)工藝復(fù)雜性的產(chǎn)品將上市。Andreas Klipp 博士表示：“這種新的‘全濕去光阻’液體清洗解決方案可為客戶減少一個(gè)生產(chǎn)步驟并幫助他們進(jìn)一步縮小產(chǎn)品尺寸。”
現(xiàn)在面世的產(chǎn)品被用在“后段制程”(BEOL)中。BEOL 是半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的一部分，在這一過(guò)程中主動(dòng)組件被跨越幾層金屬連接起來(lái)并加上最終的鈍化保護(hù)層。
巴斯夫是全球領(lǐng)先的電子材料制造商之一，其電子材料產(chǎn)品及解決方案被廣泛地用于半導(dǎo)體、平面顯示器和太陽(yáng)能行業(yè)。
巴斯夫無(wú)機(jī)化學(xué)品部門
巴斯夫無(wú)機(jī)化學(xué)品部在全球開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)品種極為豐富的無(wú)機(jī)化學(xué)品和以天然氣和金屬化合物為原料的產(chǎn)品。該部門服務(wù)于建筑、醫(yī)藥、食品、木工等行業(yè)的客戶。其產(chǎn)品涵蓋硫酸、硝酸等無(wú)機(jī)基礎(chǔ)化學(xué)品、碳酸氫銨等無(wú)機(jī)鹽類產(chǎn)品、硼烷和羰基鐵粉末等特種產(chǎn)品、粘結(jié)劑和浸漬樹(shù)脂、電子化學(xué)品以及化肥。無(wú)機(jī)化學(xué)品部在歐洲、亞洲和美國(guó)生產(chǎn)基地的員工總數(shù)約為3000 人。如需更多無(wú)機(jī)化學(xué)品部的信息， 敬請(qǐng)?jiān)L問(wèn)www.basf.com/inorganics。